オージェ電子分光法 AES
表面分析機器のうち,オージェ電子分光法 AESを紹介します。下記のボタンから表面分析機器の関連製品一覧を切替えられます。
オージェ電子分光法 AES(Auger electron spectroscopy)は,電子を利用した表面分析法。電子衝撃によって生じた内殻軌道の空孔に,すぐ上の準位の電子が落ち,そのとき放出される他の殻の電子(オージェ電子)のエネルギーを測定することにより,試料の構成元素を同定することができます。
オージェ電子分光法 AESの一覧表
会社別のオージェ電子分光法 AESの一覧です。
日本電子
表面存在元素分析機
表面2次元元素分布測定機
表面化学結合状態測定機(一部元素で可能)
深さ方向分析機
断面分析機