Hybrid PVD System(ハイブリッドPVDシステム)(コーティング装置)  パーカー熱処理工業

Hybrid PVD System(ハイブリッドPVDシステム)| 複合コーティング装置 | パーカー熱処理工業

Hybrid PVD System(ハイブリッドPVDシステム)はパーカー熱処理工業のPVDコーティング装置です。

最も優れたコーティング膜が合成できるようにした複合コーティング装置

3つ(Linear lon source,UBM sputter,FCVA source)の適切な組み合わせを通じて,最も優れたコーティング膜が合成できるようにした複合コーティング装置

用途

非鉄金属加工用工具,マイクロドリル,非球面レンズモールドなど

特長

◆LIS(Linear lon Source)システム
◇蒸着工程時間に安定的なイオン化エネルギー
◇広範囲に良質の蒸着コーティング膜を形成
◇安い工程維持費
◇Ar,O2,N2,gasなどを利用したcleaning
◆UBM Sputter(Unbalanced Magnetron Sputter)システム
◇合金,化合物,絶縁膜の蒸着が可能
◇多様な反応性ガスによる反応性スパッタリングが可能
◇蒸着膜の厚さの均一性
◇広い面積のターゲット利用が可能
◇アーク蒸着の時と同じくMacro particleが非形成
◇低温工程が可能
◆FCVA(Filtered Cathodic Vacuum Arc)システム
◇Dual bent ductのフィルタリングを通じてのDropletの除去およびUltra-smooth表面粗度
◇Beam-rasteringによる広範囲のコーティング
◇革新的な電極デザインによるプラズマビームの安定性
◇相手材に対する高い接合力
◇高い再現性と簡単なメンテナンス

icon-building会社名パーカー熱処理工業株式会社 
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icon-phoneお問合せ電話 03-3278-4550
FAX 03-3274-2260
icon-homeホームページhttp://www.pnk.co.jp/
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