液中パーティクルカウンター
KL-30Bは，最小可測粒径0.05μmの超純水プラント向けのオールインワンタイプ液中パーティクルカウンター
リオン（株）
東京都国分寺市東元町3-20-41
TEL 042-359-7878
用途
主に電子デバイス製造工場の超純水プラントで生産される超純水の粒子汚染の監視
特長
- センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ
- 超純水ラインに直接インストール，プロセスを管理
- パージエアユニットを標準搭載
- 試料圧力500kPa（ゲージ圧）の高圧にも対応
- D/Aコンバータ（4-20mA），アラーム出力接点を標準装備
- プリンタを内蔵，コンパクトフラッシュカード（オプション）も使用可能
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