マイクロスクラッチテスターMST | 微小荷重自動スクラッチ試験機 | アントンパール・ジャパン

マイクロスクラッチテスターMST | 微小荷重自動スクラッチ試験機 | アントンパール・ジャパン

マイクロスクラッチテスターMSTは,アントンパール・ジャパンの微小荷重自動スクラッチ試験機です。

微小荷重自動スクラッチ試験機

各種基板上の0.01~1μmの薄膜をダイヤモンド圧子により徐々に荷重を増加させながらスクラッチして,被膜内部 または界面部で起きる剥離や破壊をAE(アコースティックエミッション)センサーで検知し,剥離の起き始める荷重を臨界荷重(クリティカルロード)として 薄膜の密着力および強度を定量的に評価する

特長

  1. データはリアルタイムで垂直荷重-AE強度グラフとしてパソコンディスプレイ上に出力され,AEによる臨界荷重(Lc AE)が決定できる
  2. スクラッチ痕は組み込み型光学顕微鏡によりサンプルホルダーから取り外さず観察が可能
  3. スクラッチ起点から剥離開始点までの距離をキーボード操作により測定でき,顕微鏡観察による臨界荷重(Lc OM)が決定できる
  4. スクラッチ中の圧子の押し込み深さが変位センサーにより計測でき,グラフとして出力できる。データは垂直荷重-押し込み深さの変動による臨界荷重(Lc Pd)が決定できる
  5. 操作はすべてパソコンのキーボード上またはジョイスティックからメニュー形式で簡単に行える

仕様

  • 最大垂直荷重:30N
  • ダイナミック荷重分解能:10μN
  • スタート荷重:30mN
  • 荷重負荷速度:1~100N/min
  • スクラッチ速度:0.4~600mm/min
  • 最大スクラッチ長さ:30mm(Zステージ)
  • 圧子上下移動ストローク:30mm
  • 標準圧子(測定子):ダイヤモンド 先端半径0.2mmR(他タイプの使用可能)
  • 荷重負荷方式:電磁コイルによる送り機構とスプリングを利用した,てこ方式
  • 荷重測定・高精度ロードセル
  • 最大摩擦力:30N
  • 摩擦力分解:0.1mN
  • 外形寸法・重量:600×600×H1200mm・~150kg(CPXタイプの場合)
  • 電源:AC 100/220V 50/60HZ 200W

icon-building会社名株式会社アントンパール・ジャパン
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icon-phoneお問合せ電話 03-6661-8306(代表)
   03-6661-8307(サービス部)
FAX 03-6661-8308
icon-homeホームページhttp://www.anton-paar.com
icon-inboxメールinfo.jp@anton-paar.com

まとめてお問い合わせ
資料請求かごに入れて,複数のお問い合わせを一括して請求することもできます。

このカタログを下記フォームから請求できます

  • カタログの主な内容
  • 薄膜やコーティング表面の密着性,破壊特性,変形特性などの機械的特性の評価に適する
  • 各センサーと内蔵の光学顕微鏡による観察結果を組み合わせて,臨界荷重データを得る

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