ナノスクラッチテスターNST | 超微小荷重自動スクラッチ試験機 | アントンパール・ジャパン

ナノスクラッチテスターNST | 超微小荷重自動スクラッチ試験機 | アントンパール・ジャパン

ナノスクラッチテスターNSTは,アントンパール・ジャパンの超微小荷重自動スクラッチ試験機です。

超微小荷重自動スクラッチ試験機

各種基板上の薄膜をダイヤモンド圧子により徐々に荷重を増加させながらスクラッチして,被膜内部または界面部で起きる剥離や破壊の起き始める荷重を臨界荷重(クリティカルロード)として薄膜の密着力および強度を定量的に評価する

特長

  1. データはリアルタイムでパソコンディスプレイ上に出力される
  2. スクラッチ痕はCCDカメラ付き光学顕微鏡によりサンプルホルダーから取り外さず観察が可能
  3. スクラッチ起点から剥離開始点までの距離をキーボード操作により測定でき,顕微鏡による臨界荷重(Lc OM)が決定できる
  4. 摩擦力測定器により,スクラッチ中のダイヤモンド圧子と基板/薄膜の摩擦力および摩擦係数が計測できる。データは垂直荷重-摩擦力/摩擦係数グラフとして出力され,摩擦力による臨界荷重(Lc)が決定できる
  5. スクラッチ中の圧子の押し込み深さが変位センサーにより計測でき,グラフとして出力され,垂直荷重-押し込み深さにの変動による臨界荷重(Lc Pd)が決定できる
  6. 操作はすべてパソコンのキーボード上からメニュー形式で簡単に行える

仕様

  • 最大垂直荷重:1N
  • ダイナミック荷重分解:1.5μN(100mN用スプリング),0.15μN(10mN用スプリング),15μN(1N用スプリング)
  • スタート荷重:100μN(100mN用スプリング),10μN(10mN用スプリング),1mN(1N用スプリング)
  • 荷重負荷速度:~5N/min
  • スクラッチ速度:0.2~200mm/min
  • 最大スクラッチ長さ:20mm
  • 圧子上下移動ストローク:30mm(Zステージ)
  • 標準圧子(測定子):ダイヤモンド 先端半径10μmR(20μm,2μm,5μm,1μmもある)
  • 荷重負荷方式:電磁コイルによる送り機構とスプリングを利用したダブルカンチレバー方式
  • 荷重測定:深さセンサーによる変換
  • 外形寸法・重量:600×600×H1200mm・~150kg(CPXタイプの場合)
  • 電源:AC 100/220V 50/60Hz 200W

icon-building会社名株式会社アントンパール・ジャパン
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icon-phoneお問合せ電話 03-6661-8306(代表)
   03-6661-8307(サービス部)
FAX 03-6661-8308
icon-homeホームページhttp://www.anton-paar.com
icon-inboxメールinfo.jp@anton-paar.com

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資料請求かごに入れて,複数のお問い合わせを一括して請求することもできます。

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  • カタログの主な内容
  • 薄膜やコーティング表面の密着性,破壊特性,変形特性などの機械的特性の評価に適する
  • 各センサーと内蔵の光学顕微鏡による観察結果を組み合わせて,臨界荷重データを得る

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