走査型プローブ顕微鏡システム
AFM5500Mは,先端が数ナノメートルに尖ったプローブ(探針)でサンプル表面を走査することにより,ナノレベルでサンプル表面の立体形状観察と物性マッピングを同時に行うことができる装置
(株)日立ハイテクサイエンス
東京都港区西新橋1-24-14
TEL 03-6280-0062
特長
- 平行運動をする走査機構を備えた「XY200μm広域フラットスキャナ」を搭載することで,直線性の高い計測を実現し,歪み等を改善
- クローズドループ制御の低ノイズ位置センサを装備したことにより,同社従来機と比べ10倍の高精度で3Dプロファイル(表面形状および物性)を取得できる
- カンチレバーの装着,光軸調整とレバー振動条件の設定,試料の測定までをユニットに触れることなくワンクリックで自動に行うことが可能で,専用プローブステーションによる測定パラメータ自動調整(RealTune(R) II)と合わせ,オペレーターの負担を大幅に軽減
AFM5500M(走査型プローブ顕微鏡)の資料請求