レーザプローブ式非接触三次元測定装置
NHシリーズは，様々なワークを非接触で測定するレーザプローブ式非接触三次元測定装置
三鷹光器（株）
東京都三鷹市野崎1-18-8
TEL 0422-49-1491
特長
- ワークの表面形状や色，反射率，傾斜，エッジの散乱光などの影響を受けないオートフォーカスシステムにより数mmの段差をナノレベルの分解能で高速に測定
- スポット先端径が0.4μmのレーザによって表面形状を探り，寸法を全自動で高精度測定
- レーザー光はY軸方向に配置され光軸中心をフォーカスしているため，X方向の死角がなく，表面粗さのあるワークに対して90°近い急斜面の測定が可能
- 測定表面の付近に強い反射面があるもの，ゴーストが出やすいワークなど非接触での測定が困難なものも散乱光を効率よくカットすることで高精度に測定
NHシリーズ（非接触三次元測定装置）の資料請求