三洋貿易が提供する超薄膜ヤング率測定システム LAwave(ドイツ・Fraunhofer IWS社製)は,ナノ~マイクロメートル級の非常に薄い膜(超薄膜)のヤング率(弾性率)を高精度で測定するための装置です。
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表面弾性波を用いる薄膜の機械的特性評価装置
表面弾性波を用いる薄膜の機械的特性評価装置。レーザーにより励起された弾性波の伝播特性はサンプルのヤング率,ポアソン比,密度,膜厚に依存する。得られた弾性波から専用の解析ソフトウェアによりヤング率を算出する。
用途
様々な表面やコーティング技術に幅広く対応可能で,以下用途に最適
- ブレーキディスクコーティングのマッピング
- ウェハ上の表面損傷
- PVDコーティングの品質管理
- 熱噴射コーティングの欠陥
- 生成材料における多孔性および異方性
- 研究および材料開発
特長
- 数秒かつ非破壊で測定可能
- 数nm~約1mmまでの厚みに対応
- 室温から600℃までのin situ測定対応
- 加工変質層の評価が可能
動画:LAwave – コーティングおよび表面の非破壊機械試験
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