事業内容
電子・イオン等の粒子線，および光・X線等の電磁波に関する技術を応用した各種機器・システムの研究・開発・設計・製造・販売・技術提供・輸出入・ 保守サービス等
会社の特色
＜製品紹介＞
- 計測分析装置
- 粗さ解析装置：ERAシリーズ
- TFE走査型電子顕微鏡：ESM-9000
- 三次元X線分析装置：ERAX-8900
- 硬さ解析装置：ENTシリーズ
- 表面力測定装置：ESF-5000
- 微細加工装置
- 電子ビーム描画装置：ELSシリーズ
- ディスクマスタリング装置：EBWシリーズ
- エッチング・成膜装置：EISシリーズ・その他
- FIB微細加工装置：EIP-5400
- 試料コーティング装置：ESC-101
- 電子ビームナノ融解装置：ENF-3500
＜沿革＞
1975.3 東京都杉並区に資本金500万円で設立。代表取締役社長 岡崎伊喜夫
1975.6 武蔵野市中町に拡大移転し，半導体関連装置の開発製造開始
1977.6 八王子市千人町に拡大移転し，資本金3,000万円に増資
1979.6 資本金4,500万円に増資
1981.11 東京中小企業投資育成（株）より転換社債として融資を受ける
1983.1 八王子市元横山町に本社工場を竣工
1984.8 大阪市西中島に大阪営業事務所を開設
1985.11 社債の転換を含め，資本金8,500万円に増資
1990.4 本社ショールーム完成
1992.12 代表取締役社長に本目精吾が就任
2002.6 大阪営業所（現 西日本営業所）を大阪府池田市に移転
2003.10 資本金を1億7,000万円に増資
2003.11 八王子市左入町にナノテクシステムセンター完成
2008.10 資本金を2億7,000万円に増資
2009.12 代表取締役社長兼COOに牧内昌幸が就任。代表取締役会長兼CEOに本目精吾が就任
2011.12 代表取締役社長兼COOに岡林徹行が就任
＜受賞歴＞
1983.3 中小企業診断制度による都知事賞を受賞
1985.3 中小企業診断制度による中小企業長官賞を受賞
1990.1 （財）精密工学会 精密工学会技術賞を受賞
『電子線による三次元超精密表面形状測定装置の開発とその応用』
1991.10 （財）精密測定技術振興財団 高城賞を受賞
『超精密ダイヤモンド切削加工用工具刃先の評価に関する研究』
1996.9 （財）精密測定技術振興財団 高城賞を受賞
『マイクロマシンニング技術に関する研究』
2000.3 （財）機械振興協会 第30回 中堅，中小企業新機械開発賞を受賞
『高加速電界放射型電子線描画装置の開発』
2002.4 （財）あさひ中小企業優秀新技術・新製品賞を受賞
『電子線ディスクマスタリング装置』
2004.4 （財）りそな中小企業振興事業団・日刊工業新聞産業研究所
第16回中小企業優秀新技術・新製品賞 優秀賞受賞（超高精度電子線描画装置）
第16回中小企業優秀新技術・新製品賞 技術経営特別賞受賞
2005.2 nano tech2005 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議ナノテック大賞 日刊工業新聞社賞を受賞
2006.4 経済産業省・中小企業庁「明日の日本を支える元気なモノ作り中小企業300社」に選定
2008.9 東京商工会議所「第六回 勇気ある経営大賞」大賞を受賞
2010.2 nano tech2010 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議微細加工技術部門賞を受賞
2010.5 第8回「産学官連携功労者表彰」経済産業大臣賞を代表取締役会長兼CEO 本目精吾が受賞
2011.1 日刊工業新聞社主催 第28回「優秀経営者顕彰」最優秀経営者賞を，代表取締役会長兼CEO 本目精吾が受賞
2011.4 春の叙勲旭日双光章を，代表取締役会長兼CEO 本目精吾が受章
2012.11 東京都ベンチャー技術大賞奨励賞受賞
2014.3 経済産業省 「グローバルニッチトップ企業100選」に選定
問い合わせ
本社：〒192-0063 東京都八王子市元横山町3-7-6
営業本部 TEL 042-626-0611 FAX 042-626-6136
管理部 TEL 042-626-0612 FAX 042-626-6136
開発技術部 TEL 042-626-0702 FAX 042-626-9081
ナノテクシステムセンター：〒192-0012 東京都八王子市左入町279
顧客サポート課 TEL 042-692-0660 FAX 042-692-0690
資材課 TEL 042-692-0650 FAX 042-692-0777
西日本営業所：〒563-0025 大阪府池田市城南1-9-22 グリーンプラザ2階
TEL 072-754-6999 FAX 072-754-6990
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