超薄膜スクラッチ試験機
CSR 5000は，1μm以下の薄膜の密着強度を定量的に測定する超薄膜スクラッチ試験機
（株）レスカ
東京都日野市日野本町1-15-17
TEL 042-582-4711
用途
- 成膜条件の優劣の比較，面分布の評価
- レンズなどの曲率面の計測
- 密着性の温度依存性の評価
特長
- 薄膜評価に好適なマイクロスクラッチ法を採用し，1μm以下の薄膜評価に最適．「JIS R 3255 ガラスを基板とした薄膜の付着性試験方法」に準拠した測定が可能
- 測定データと測定傷観察システム（オプション）による観察画面のリンクが容易で，データ解析がスムーズ
- 垂直方向の破壊検出信号を追加した独自の検出方式（特許5070146号）により，剥離検出感度を当社比5倍以上に向上し，数ナノレベルの薄膜の剥離でも明確な破壊信号を得ることに成功
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