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高真空・極低温・高温環境下用摩擦摩耗試験機

高真空（到達10^-7torr）や極低温（-120℃）から高温（1000℃）までの過酷な環境下で摩擦摩耗特性を評価する試験機。宇宙開発や半導体製造装置など，特殊環境でのトライボロジー研究に不可欠

用途

• 宇宙・航空：人工衛星駆動部，ベアリングの真空・極低温下での潤滑評価
• 半導体：半導体製造装置における真空チャンバー内駆動部の摩擦摩耗評価
• 素材：不活性ガス雰囲気下でのコーティング材や新素材の特性評価

特長

1. ターボ分子ポンプ搭載により，短時間で高真空環境を実現
2. 液体窒素による極低温（-120℃）から最大1,000℃までの広範な温度制御
3. 不活性ガスの循環・置換試験にも対応
4. 真空環境対応の静電容量型ロードセルにより，低ノイズ・高精度な摩擦力測定
5. ロータリー（回転）試験や線形直線（往復動）試験に対応

仕様

• 真空度：最大 10^-7torr（試験中は 10^-5torr程度）
• 温度制御：-120℃～1,000℃（オプションによる）
• 最大荷重：200N
• ロータリー試験：最大 1,800rpm
• センサー：摩擦力，アコースティックエミッション（AE）等

○装置外観（MVT-2）

○試験イメージ

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