ASTMやISO対応の次世代型ナノインデンター
ハイコストパフォーマンスを実現したASTMやISO対応の次世代型ナノインデンターで，ナノスケールでの機械的特性を正確精密に測定する。
最大500mNの荷重で，薄膜，金属，セラミック，コーティング，ポリマー，バイオ材料など，様々な材料に対して幅広いナノメカニカルテストを可能にする。
用途
正確なインデンテーション制御。
汎用性が高く，バイオ材料研究，半導体デバイス，新素材の開発，医療機器のポリマーなど，様々な用途に使用できる。
軟質から硬質，脆質から脆性まで，ほぼすべての材料の硬度，弾性率，クリープ値を測定。
このように，様々なパラメータに対する材料特性を取得でき，耐摩耗性を高めた材料を設計する
特長
- 専用機としてリーズナブルな価格を実現
- 高速スキャン，専用解析ソフト（得られた荷重変位曲線を使用して，硬度，弾性率，その他の特性を計算）
- 2Dカメラ標準搭載（高解像度の光学顕微鏡で正確なテスト領域の選択と圧痕を可視化）
- ピエゾアクチュエーションおよび静電容量センサーを採用
- ナノスケールであらゆる表面の信頼性の高い特性を定量化
- 荷重と変位はリアルタイムで制御
- 高い再現性を実現し，振動を減衰する堅牢でコンパクトな設計
- ワンクリックで独自の試験が実行可能
仕様
- XYZステージ：50×120×15mm
- 筐体サイズ：40×40×40cm
- 重量：30kg
- 最大荷重：500mN
- 荷重分解能：0.015μN
- 荷重ノイズフロア［rms］：1μN
- 最大押し込み深さ：200μm
- 深さ方向分解能：0.005nm
- 深さノイズフロア［rms］：0.1nm
- 最大データ収集速度：1MHz
