多機能表面材料試験機
スクラッチ，マイクロインデンテーション，摩擦摩耗，3D形状測定を1台に統合した多機能表面材料試験機。特許取得の静電容量センサーとインライン3Dプロファイラにより，コーティングの密着性や硬度，膜厚を高精度に評価する
用途
- 自動車・機械：ハードコーティング（DLC，TiN等）のスクラッチ密着強度評価
- 半導体・電子：MEMS，光学レンズの微小機械的特性（硬度・弾性率）評価
- ポリマー・生体：人工関節，ポリマー材料の表面スクラッチ・微小摩耗評価
特長
- インデンテーションとスクラッチ試験を1つのモジュールで実現
- 特許取得の静電容量技術により，高精度かつ高分解能な力測定（mN～200N）
- インライン3Dプロファイラ搭載により，試験直後の表面形状を自動計測
- 分光反射率を利用した超高速な非接触膜厚測定機能（オプション）
仕様
- 最大荷重：200N（USTモジュールの場合）
- 荷重分解能：100μN（UST / 200Nの場合），0.01mN（低荷重時）
- 最大変位：1,000μm
- 測定機能：硬度，弾性率，クリープ，破壊靭性，摩擦係数，膜厚
- 対応規格：ISO 14577，ASTM E2546，ASTM C1624，ISO 20502 他
