多機能3Dプロファイラ UPシリーズ | 表面形状測定機 | Rtec-Instruments

多機能3Dプロファイラ UPシリーズ | 表面形状測定機 | Rtec-Instruments

Rtec-Instrumentsの多機能3Dプロファイラ UPシリーズは，表面形状測定機です。

3D表面形状測定機

白色干渉計，共焦点レーザー，ラマン分光など最大3つの測定モードを1台に統合した3D表面形状測定機。透明体，急勾配，鏡面，粗面など，あらゆる表面の摩耗体積や粗さを高速・高解像度で計測する

用途

  • トライボロジー：摩擦摩耗試験後の摩耗痕の体積測定，スクラッチ試験の傷分析
  • 半導体・光学：半導体ウェハ，MEMS，透明コーティングの表面形状・膜厚測定
  • 素材：金属，ポリマー，セラミックスの表面粗さ解析（ISO 25178対応）

特長

  1. 1つのヘッドでイメージングモード（白色干渉計＆共焦点）をワンクリックで自動切替
  2. スピニングディスク共焦点により，高速かつ高横方向分解能を実現
  3. 透明・半透明サンプルの表面／界面測定に強い
  4. 白色干渉計（WLI）モードで，サブナノメートルの高さ方向解像度を提供
  5. 自動画像ステッチング機能で，大面積の高倍率3Dマップを高速作成

仕様

  • 測定モード：白色光干渉，共焦点，ラマン分光
  • カメラ：最大 5Mp（デジタル高解像度カメラ）
  • Z解像度（白色干渉）：0.01nm以上
  • サンプルステージ：300×300×150mm（UP-5000の場合）
  • 解析ソフト標準搭載（MountainsMap）

○装置外観（UP-2000）
装置外観（UP-2000）

○装置外観（UP-3000）
○装置外観（UP-3000）

○装置外観（UP-5000）
○装置外観（UP-5000）

○測定画面
測定画面（UPシリーズ）

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    最終更新日：2026年6月26日