超純水・純水・準水系洗浄システム は，パーティクル除去，イオン除去など超精密洗浄に対応した洗浄装置です。ワーク材質に適した洗浄剤の選択が多岐にわたり可能です。速乾性を考慮した新オオツカ独自の溶剤乾燥システムが併用できます。新オオツカが提供します。

炭化水素系溶剤最適真空洗浄装置 VONOVO（R）自動洗浄機は，炭化水素系溶剤に最適な縦型多段式真空洗浄装置です。縦型多段1槽式で全工程を減圧下で行うため，塩素系洗浄以上の洗浄性，乾燥性が得られます。ジャパン・フィールドが提供します。