超純水・純水・準水系洗浄システム は，パーティクル除去，イオン除去など超精密洗浄に対応した洗浄装置です。ワーク材質に適した洗浄剤の選択が多岐にわたり可能です。速乾性を考慮した新オオツカ独自の溶剤乾燥システムが併用できます。新オオツカが提供します。

フッ素系溶剤対応洗浄システム は，コ・ソルベントシステム，ミニ洗浄システム，パーティクル及びアルコール（IPA等）除去システム，一般洗浄システムがあります。新オオツカが提供します。