パーカー熱処理工業が提供するJ&L Tech社製のCarbozen-H(カーボゼンH)シリーズは,様々なプラズマソースを組み合わせたハイブリッドPVDコーティング装置です。
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ハイブリッドPVDコーティングシステム
LIS(Liner Ion Source)とUBM Sputterを組み合わせたお客様の様々なニーズを満足させるDLCコーティング装置。
金型切削工具/電子および自動車部品など様々な分野に適用でき,高硬度/低摩擦/耐摩耗の特性により部品の寿命を延長させ,生産性と品質向上を通じてコスト削減を実現する
用途
金型/切削工具/電子および自動車部品など様々な製品表面コーティング
特長
- LIS(Linear lon Source)の特長
- 安定的なイオン化エネルギー
- 広い面積にも良質のコーティング膜を形成
- 低ランニングコスト
- 高密着力
- Ar,O2,N2ガス等を利用したクリーニング
- UBM Sputter(Unbalanced Magnetron Sputter)の特長
- 合金,化合物,絶縁膜の蒸着が可能
- 多様なターゲットを使用することで様々な中間層蒸着が可能
- 多様な反応性ガスによるスパッタリングが可能
- 均一な厚さの蒸着膜
- ターゲット利用可能面積が広い
- 低温での成膜が可能
仕様
- チャンバーサイズ:Φ600×H600,Φ700×H900,Φ800×H1000,Φ1000×H1000,Φ1000×H1200,Custom-made
- プラズマソース:Linear Ion Source,UBM Sputter
- 治具システム:2 fold or 3 fold
- 作動ガス:Ar・O2・C2H2・CH4・C6H6・etc(Mass flow control system)
- 初期真空度:~10-6Torr
- バイアス電源:Pulsed DC
- ヒーター:Max 250℃[Optional 450℃]
- 装置運転:全自動/半自動
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