グロー放電法を用いて，様々なフィルムコーティングを統合するハイブリッドPVDシステム
「CarboZen 1000」は，グロー放電法を用いて，様々なフィルムコーティングを統合するハイブリッドPVDシステム
特長
1. 多様なコーティングフィルムが可能
2. pre-cleaningが可能
3. 高い蒸着速度とイオン化が可能
4. 金属に優秀な接着力がある
5. 優秀な再現性と保守を発揮する
6. 手動および自動制御が可能
7. MS Windows環境での作業容易
8. 作業のため安全装置が設置
9. Windows環境基盤の使用者環境制御システム
10. 工程レシピの貯蔵と編集が容易
11. プロセス進行中データ記録が可能
