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ハイブリッドPVDコーティングシステム

LIS（Liner Ion Source）とUBM Sputterを組み合わせたお客様の様々なニーズを満足させるDLCコーティング装置。
金型切削工具／電子および自動車部品など様々な分野に適用でき，高硬度／低摩擦／耐摩耗の特性により部品の寿命を延長させ，生産性と品質向上を通じてコスト削減を実現する

用途

金型／切削工具／電子および自動車部品など様々な製品表面コーティング

特長

• LIS（Linear lon Source）の特長
  • 安定的なイオン化エネルギー
  • 広い面積にも良質のコーティング膜を形成
  • 低ランニングコスト
  • 高密着力
  • Ar，O₂，N₂ガス等を利用したクリーニング
• UBM Sputter（Unbalanced Magnetron Sputter）の特長
  • 合金，化合物，絶縁膜の蒸着が可能
  • 多様なターゲットを使用することで様々な中間層蒸着が可能
  • 多様な反応性ガスによるスパッタリングが可能
  • 均一な厚さの蒸着膜
  • ターゲット利用可能面積が広い
  • 低温での成膜が可能

仕様

• チャンバーサイズ：Φ600×H600，Φ700×H900，Φ800×H1000，Φ1000×H1000，Φ1000×H1200，Custom-made
• プラズマソース：Linear Ion Source，UBM Sputter
• 治具システム：2 fold or 3 fold
• 作動ガス：Ar・O₂・C₂H₂・CH₄・C₆H₆・etc（Mass flow control system）
• 初期真空度：～10^-6Torr
• バイアス電源：Pulsed DC
• ヒーター：Max 250℃［Optional 450℃］
• 装置運転：全自動／半自動

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