パーカー熱処理工業が提供するJ&L TECH社製のMETALLION（メタリオン）シリーズは，様々な種類のメタルハードコーティングのためのPVDコーティング装置です。
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メタルアークコーティングシステム
金属ターゲットを利用して様々な特性の金属コーティングが可能なコーティング装置。ダイキャスト金型／工具／一般部品の耐摩耗性，耐食性を向上させ，製品の品質向上とコスト削減を実現する
用途
切削工具／フォーミング工具／金型など高温，高速で使用される製品の表面コーティング
特長
- 様々なコーティング膜の蒸着が可能
- 高い蒸着率及びイオン化率
- 金属母材に対する優れた密着力
- 相手材に対する高い密着力
- 高い再現性と容易なメンテナンス
仕様
- チャンバーサイズ：Φ600×H600，Φ700×H900，Φ800×H1000，Φ1000×H1000，Φ1000×H1200，Custom-made
- プラズマソース：5" Cathodic Arc Source (Auto trigger, Direct Water Cooling)
- 治具システム：2 fold or 3 fold
- 作動ガス：Ar・N2・etc (Mass flow control system)
- 初期真空度：～10-6Torr
- バイアス電源：Pulsed DC
- ヒーター：Max 480℃
- 装置運転：全自動／半自動
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