極薄膜厚測定
弾性流体潤滑状態での油膜厚さを測定する極薄膜厚測定システム
特長
- 純ころがりから純すべり状態(すべり率±200%)までのトラクション測定が可能
- 光干渉法を用いて接触部中央の油膜厚さを測定
- 3D SLIMオプションを使用することで接触部全体の膜厚分布を決定
仕様
- 膜厚:2~1,000nm ,精度±1nm(~30nm)
- 速度:0~4m/s
- 滑り率:0~200%
- 負荷荷重:0~50N
- 接触圧力:0.7GPa(スチールボールvsガラスディスク),3GPa(タングステンカーバイドボールvsサファイアディスク)
- 温度:室温~150℃
- 寸法:
装置 W50cm x D50cm x H30cm(25kg)
電子ユニット W50cm x D44cm x H23cm(19kg)
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