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DLC硬質薄膜

先進のプラズマブースタースパッタリング（PBS）とプラズマCVDのハイブリッドプロセスによるDLC硬質薄膜

特長

1. 複合多層構造の改善により耐荷重性能が向上
2. 新プラズマ源採用で従来より低温処理が可能
3. 量産時のプロセスの信頼性が向上
4. 最大処理寸法がФ700×1200mmに拡大

用途

摺動部品，金型，治工具

セルテスDC2500

• 色調：黒色
• 硬度：25GPa
• 膜厚：3～5μm
• 摩擦係数：0.1
• 用途：
  　（1）摺動部品
  　（2）SUS／Al／Mg塑性加工金型
  　（3）プラスチック成形金型

セルテスTC（水素フリーDLC）

• 色調：黒色
• 硬度：50GPa
• 膜厚：1～5μm
• 摩擦係数：0.1
• 用途：
  　（1）自動車部品
  　（2）塑性加工金型
  　（3）プラスチック成形金型

セルテスDC1000

• 色調：黒色
• 硬度：10GPa
• 膜厚：3～5μm
• 摩擦係数：0.2
• 用途：
  　（1）摺動部品
  　（2）SUS／Al／Mg塑性加工金型
  　（3）プラスチック成形金型

セルテスDT

• 色調：銀色
• 硬度：10GPa
• 膜厚：2～3μm
• 摩擦係数：0.2
• 用途：
  　（1）摺動部品
  　（2）プラスチック成形金型

ナノコートDLC-Si

• 色調：黒色
• 硬度：19GPa
• 膜厚：1～2μm
• 摩擦係数：0.1

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