APD-Sシリーズ | アークプラズマ成膜装置

アークプラズマ成膜装置

パルスアーク蒸着により，膜の平坦性，微粒子の形成など他の蒸着法では得られない効果が得られるアークプラズマ成膜装置

DLCの生成，カーボンナノチューブ用ナノ粒子形成，燃料電池など電極材への触媒ナノ粒子の担持

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