APD-Sシリーズ | アークプラズマ成膜装置 | アドバンス理工

APD-Sシリーズ | アークプラズマ成膜装置 | アドバンス理工

APD-Sシリーズは,アドバンス理工のアークプラズマ法ナノ粒子形成装置です。

アークプラズマ成膜装置

パルスアーク蒸着により,膜の平坦性,微粒子の形成など他の蒸着法では得られない効果が得られるアークプラズマ成膜装置

用途

DLCの生成,カーボンナノチューブ用ナノ粒子形成,燃料電池など電極材への触媒ナノ粒子の担持

特長

  1. Å相当の膜厚からμmオーダーの膜厚制御までパルス数で簡単に膜厚制御が可能
  2. プロセスガスが不要かつUHV中での動作が可能で,膜中への雰囲気ガス成分の混入を低減する
  3. 最大400Vの充電電圧と高エネルギー密度で蒸着することにより,平坦かつ密着性の高い緻密な膜が得られる
  4. 成膜材料は,φ10mm×17mmのサイズでOK
  5. 照射面積は約φ50mm(±10%)

icon-building会社名アドバンス理工株式会社 
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icon-phoneお問合せ電話:045-931-2285
FAX:045-933-9973
icon-homeホームページhttp://advance-riko.com/
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