ナノ粒子形成装置
パルスアーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置。膜の平坦性,微粒子の形成など他の蒸着法では得られない効果が得られる
特長
- 放電パラメータと基材との相関関係でナノ粒子の粒径が決まる
- ユーティリティは電気だけ。冷却水,プロセスガスは不要
- 同装置で担持されたナノ粒子は高温環境下でも凝集やシンタリングを抑制する効果がある
- 担持する蒸着材料のターゲットサイズはφ10mm×L17mm程度
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