• トライボ要素
• 表面分析
• 表面分析機器

組込み型ナノインデンテーション

ナノインデンテーションはダイアモンド製の圧子を試料に押込み，押込み荷重と深さ方向変位の曲線から硬さや弾性率を測定することができる装置。これまでは，この荷重変位曲線から材料の変形挙動を議論してきたが，本装置をSEMやTEMといった電子顕微鏡に組み込むことにより，試料の変形や破壊の挙動がリアルタイムで観察が可能となった

用途

• ナノインデンテーション：個々のグレインの硬さと弾性率を測定し，EBSD（電子線後方散乱回折法）マッピングにより取得される，金属などの結晶材料の結晶方位・粒径・歪分布などの情報と機械的特性を関連づけることが可能
• 粒子やピラーの圧壊試験：SEMやTEMによる観察により，適切な圧子のアライメントを行い，ナノ～マイクロサイズの粒子の大きさと強度の関係を定量的に評価することが可能
• マイクロビームの曲げ試験：層状構造，複合構造または多相構造のマイクロビームに曲げ応力を加えて，破壊始点を評価し，材料および界面に沿った破壊の進行を観察することが可能
• 引っ張り試験：MEMS製Push to Pullデバイスを使用することにより，ナノワイヤや薄膜を，張力をかけて取り付け，試験することができる。また，電子顕微鏡での計測により，真の応力や歪量を計算することが可能
• ナノスクラッチ試験：トライボロジー試験のその場観察により，摺動面で生じる材料の変形や薄膜の剥離のプロセスを明らかにすることができる。摩耗や剥離の進展を直接観察しながら，摩擦特性を測定することが可能

特長

1. チルト回転ステージ：様々な方向からのサンプル観察や押込み試験が可能。また，FIBによる試料の加工や，EBSDなど他の評価手法とのリンクが可能
2. 加熱ステージオプション：過酷な加熱条件下で，信頼性が要求される材料の試験に理想的なオプション。400℃，800℃タイプの加熱ホルダーが選択できる
3. 電気測定モード：圧縮や引っ張り荷重を印加した際の電気特性評価が可能なオプション。材料の変形挙動を観察しながら電気的特性の変化の起点を理解することが可能

製品提供元のリンク情報

• icon-caret-right ブルカージャパン ナノ表面計測事業部

ブルカー・エイエックスエスの製品一覧へ
ブルカージャパン ナノ表面計測事業部の会社概要