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3次元粗さ解析走査電子顕微鏡

高分解能SEM観察，ナノオーダーの3次元表面形状測定，粗さ解析が行える電子顕微鏡

特長

1. 操作しやすい直感的な新規インターフェースを採用
2. SEM（2次電子検出器）の高速応答化に加え，リアルタイム画像処理機能搭載により，SEM像の画質を大幅に改善
3. 三次元測定前の面倒な調整手順を自動化し，ユーザーの違いにより生じる測定誤差を解消
4. ワンクリックでの3次元測定，複数個所の自動測定を実現
5. 3次元測定における最大測定点数を前モデルの16倍（1728万画素）に増やし，より高精細な凹凸情報を高速に取得できる

仕様

＜SEM観察系＞

• 電子銃：熱電解放射型（ZrO/W）
• 加速電圧：0.3～30kV
• 分解能：1.2nm（30kV），5nm（1kV）
• 倍率：×20～600,000倍
• 画像観察：差信号凹凸2次電子像，和信号組成2次電子像，通常の2次電子像，反射電子像
• 試料サイズ：標準ホルダー　φ50×H30mm，φ10×H10mm
  　※最大φ6インチ収納可能（移動制限あり）
• 試料駆動：X，Y，Z，R，T 5軸モータ駆動
• オプション：操作パネル，ジョイスティック，EDS，WDS，EBSD，予備排気室（4インチ型），各種試料ホルダー

＜三次元測定系＞

• 縦方向分解能：1nm
• 測定方向 ：X方向，Y方向
• 測定データ点数：1ライン測定データ最大32,767点，3D測定データ最大1,728万点
• 測長：X，Y方向の距離，Z方向の距離，傾斜角度
• 解析：等高線，鳥瞰図，山数，粒度，面積率，表面積，JIS規格パラメータ（JIS B 0601-2001に準拠）
• 自動測定：スティッチング測定，多点測定

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