ERA-600FE | 三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 | エリオニクス

ERA-600FE | 3次元粗さ解析走査電子顕微鏡 | エリオニクス

ERA-600FEは,エリオニクスの3次元粗さ解析走査電子顕微鏡です。

3次元粗さ解析走査電子顕微鏡

高分解能SEM観察,ナノオーダーの3次元表面形状測定,粗さ解析が行える電子顕微鏡

特長

  1. 操作しやすい直感的な新規インターフェースを採用
  2. SEM(2次電子検出器)の高速応答化に加え,リアルタイム画像処理機能搭載により,SEM像の画質を大幅に改善
  3. 三次元測定前の面倒な調整手順を自動化し,ユーザーの違いにより生じる測定誤差を解消
  4. ワンクリックでの3次元測定,複数個所の自動測定を実現
  5. 3次元測定における最大測定点数を前モデルの16倍(1728万画素)に増やし,より高精細な凹凸情報を高速に取得できる

仕様

<SEM観察系>

  • 電子銃:熱電解放射型(ZrO/W)
  • 加速電圧:0.3~30kV
  • 分解能:1.2nm(30kV),5nm(1kV)
  • 倍率:×20~600,000倍
  • 画像観察:差信号凹凸2次電子像,和信号組成2次電子像,通常の2次電子像,反射電子像
  • 試料サイズ:標準ホルダー φ50×H30mm,φ10×H10mm
     ※最大φ6インチ収納可能(移動制限あり)
  • 試料駆動:X,Y,Z,R,T 5軸モータ駆動
  • オプション:操作パネル,ジョイスティック,EDS,WDS,EBSD,予備排気室(4インチ型),各種試料ホルダー

<三次元測定系>

  • 縦方向分解能:1nm
  • 測定方向 :X方向,Y方向
  • 測定データ点数:1ライン測定データ最大32,767点,3D測定データ最大1,728万点
  • 測長:X,Y方向の距離,Z方向の距離,傾斜角度
  • 解析:等高線,鳥瞰図,山数,粒度,面積率,表面積,JIS規格パラメータ(JIS B 0601-2001に準拠)
  • 自動測定:スティッチング測定,多点測定

icon-building会社名株式会社エリオニクス
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FAX 042-626-6136
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