ハイエンド・マルチナノテスター
世界中のトップ研究機関で採用される英国Micro Materials社（現 Rtecグループ）のハイエンド・マルチナノテスター。ナノ／マイクロ領域の硬度測定から，独自の高速衝撃試験，極限環境（-20℃～850℃，液体）まで，単一の装置で，市場で最も完全で信頼性の高いナノメカニカル・ソリューションを提供する
用途
- 半導体・電子デバイス：3D積層半導体，低誘電率（Low-K）膜，極微小配線材料の機械的特性評価およびナノスクラッチ耐性評価
- 次世代エネルギー：全固体電池や燃料電池材料の，電気化学セルおよび温度制御下でのトライボロジー・劣化メカニズム解析
- 自動車・航空宇宙：DLCコーティング，耐熱合金，先進複合材料の高温環境下（最大850℃）における硬度，および衝撃・疲労特性評価
- バイオマテリアル・高分子：人工関節，ステント，ハイドロゲルの液中・生体模擬環境下（最大40℃・湿度制御下）での摩擦摩耗評価
特長
- 広範な荷重スケール：電磁駆動アクチュエータにより，ナノ（最大500mN）からマイクロ（最大30N）まで極めて高精度に荷重・変位を制御
- 動的・衝撃評価：独自の「ナノ／マイクロ衝撃・高サイクル疲労モジュール（最大500Hz）」により，実稼働状態に近い超高ひずみ速度での損傷評価が可能
- 卓越した環境制御：アクティブ圧子加熱と専用チャンバーにより，-20℃から最大850℃まで熱ドリフトを極限まで抑えた等温試験を実現
- マルチ環境セル：液体浸漬セル，湿度制御（10％～90％RH），電気化学セル（ポテンショスタット搭載）により，腐食環境や生体環境を忠実にシミュレート
- 高解像度マッピング：高精度スクラッチ・多パス摩耗試験に加え，AFMモジュールやSPMイメージング機能による表面のナノメカニカル・マッピングに対応
仕様
- 荷重範囲：［Nanoヘッド］10μN～500mN／［Microヘッド］mN～30N
- 衝撃・疲労試験：最大周波数 1Hz（静的衝撃）／ピエゾ振動最大 500Hz（高サイクル疲労）
- 温度制御範囲：-20℃～850℃（パージチャンバー内PID制御，圧子・サンプル独立加熱構造）
- スクラッチ・摩耗：最大垂直荷重 30N（Micro），最大トラック長さ 40mm（TriboTest）
- 形状測定・観察：5MP高解像度光学顕微鏡，ナノポジショナー／SPM，AFMモジュール対応
