次世代ナノメカニカル試験プラットフォーム
英国Micro Materials社（現 Rtecグループ）の「Nano Test Vantage」の多機能性に高真空環境を統合した次世代ナノメカニカル試験プラットフォーム。ターボ分子ポンプによる高真空下で試料の酸化を完全に防ぎながら，最高1,000℃の超高温インデンテーション，スクラッチ，衝撃試験を実現。次世代コーティングや耐熱合金の評価に不可欠なハイエンド・マルチナノテスター。ナノ／マイクロ領域の硬度測定から，独自の高速衝撃試験，極限環境（-20℃～850℃，液体）まで，単一の装置で，市場で最も完全で信頼性の高いナノメカニカル・ソリューションを提供する
用途
- 航空宇宙・ガスタービン：ニッケル基超合金や遮熱コーティング（ボンドコート等）の超高温下（最大1,000℃）での機械的特性評価
- 半導体・電子デバイス：FIB加工されたマイクロカンチレバーの高温・真空下での曲げ試験・破壊靭性評価
- 原子力・エネルギー：イオン照射材，窒化処理表面，次世代CVD / PVD薄膜における，酸化を排除した極表面評価
- 材料科学基礎研究：高温環境下における長時間のクリープ試験や，粒界亀裂進展の安定したモニタリング
特長
- ターボ分子ポンプを搭載し，排気開始から約30分で試験可能な高真空レベルに到達
- 高真空環境により，高温試験時のサンプルおよび圧子の酸化・熱劣化を極限まで防止
- アクティブ加熱技術により，最大1,000℃でも極めて低い熱ドリフトを実現（700℃・2時間の連続試験などに対応）
- Vantageプラットフォームの柔軟性を維持し，ナノからマイクロスケールまでのインデント，スクラッチ，摩耗，衝撃試験に1台で対応
- ポンプを停止させることで，通常の大気圧下でのマルチナノテスターとしてもそのまま使用可能
仕様
- 環境制御：高真空（ターボ分子ポンプ駆動），大気圧
- 温度制御範囲：室温～最高 1,000℃
- 荷重モジュール：Nanoヘッド，Microヘッド（単一または複数搭載可能）
- 観察・形状測定：光学顕微鏡，および圧子プローブを用いた高温真空下でのSPMイメージング
- オプション：サファイア圧子（高温でのニッケル合金試験等に対応）
