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ナノインデンテーション

ナノインデンテーションは顕微鏡で圧痕観察を行わず，荷重変位曲線から硬さ，弾性率を測定することができる装置。ブルカーのトライボインデンターシリーズは，特許技術の静電駆動トランスデューサによる低荷重インデント，押込み圧子を使った走査プローブ顕微鏡モード，微小領域における正確な測定箇所の決定，ナノレベルでの動的粘弾性測定などから，最先端の有機材料，複合材料，生体材料などの機械的特性評価を行う装置として注目されている

用途

微小領域における最先端材料の機械的特性を評価する装置

• ナノインデンテーション：硬さ，弾性率，弾性変形仕事率，接触剛性，クリープ，高速モジュラスマッピング
• ナノトライボロジー：極薄膜密着力，摩擦係数，ナノスクラッチ／マー強度，往復摩耗
• SPMイメージ：押込み圧子を用いた表面形状像取得，ナノレベル精度でのインデント位置決め，摩擦力イメージング
• 動的インデンテーション：連続接触剛性・硬さ・弾性率，粘弾性測定（貯蔵弾性率，損失弾性率 m，損失正接 Tanδ）
• その他，接着剤の接着率測定，破壊靱性，応力緩和測定など

特長

1. 特許技術である静電駆動トランスヂューサによるフロアノイズは30nN以下を実現
2. 走査プローブ顕微鏡モードでは押込み圧子で表面形状像を観察と業界最高の+ / -10nmの精度による測定箇所指定
3. 78kHzフィードバックループと38kHzサンプルリングレートによる材料挙動の解析
4. トランスヂューサの並列搭載により低荷重と高荷重ヘッドのワンクリック切替
5. 大型ステージとサンプルゾーンコンセプトにより高さの違うサンプルやリセスなどの測定が可能
6. 周波数0.1～300HzでのnanoDMA測定（貯蔵・損失弾性率，Tanδ）
7. xSOLステージにより最大800℃の加熱や冷却・湿度制御が可能（粘弾性温度依存性）
8. XPM高速インデンテーションにより高いスループットを実現（マッピング機能付属）

評価モード

nanoDMA III：動的ナノインデンテーション
薄膜，微小部にも適応な可能な動的粘弾性評価技術。押し込み深さ，周波数および時間の関数から，弾塑性特性と粘弾性特性の連続測定が可能。

XPM：高速ナノ力学特性マッピング
測定分解能と精度を維持したまま，高速試験によりナノ力学特性評価のスループットを大幅に向上させた最新機能。1秒間に6回のナノインデンテーション測定が可能となり，広範囲で定量性のあるナノ力学特性マッピングを実現。

SPM+イメージング
測定に使用するプローブで試料表面を走査し，表面形状像を取得，取得した表面形状像で測定位置を指定し，そのまま試験を実施するため，高い位置精度を実現。試験後の材料変形挙動の観察も迅速に行うことができる。

ナノインデンテーション
正確な位置精度とナノスケールの荷重，変位のコントロール技術により，微小領域の力学特性の定量評価を実現。幅広い材料で弾性率，硬さ，クリープ，応力緩和，破壊靭性などの評価が可能。

ナノスクラッチ
垂直，水平の両方向の荷重，変位を高感度で検出する技術を用いて，ナノスケールのスクラッチ試験を行う。引っ掻き抵抗性，摩耗抵抗性，摩擦係数，薄膜の凝着性などを定量評価できる。

ナノウエア（ナノ摩耗試験）
ナノからマイクロのスケールで定量性のある摩耗挙動の評価が可能。試験のサイクル数，速度，面積，負荷応力の設定ができる。

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