Dektak XT | スタイラスプロファイラーシステム | ブルカージャパン ナノ表面計測事業部

Dektak XT | スタイラスプロファイラーシステム | ブルカージャパン ナノ表面計測事業部

ブルカージャパン ナノ表面計測事業部のスタイラスプロファイラーシステム Dektak XT(ディクタクXT)は,触針式表面形状計測機です。薄膜段差計測・評価に最適な業界スタンダードモデルです。

スタイラスプロファイラーシステム

薄膜段差計測・評価に最適な業界スタンダードモデル

用途

ナノオーダーからミクロンオーダーに至る膜段差の計測・評価

特長

  1. 業界最高クラスの測定能力
    • Windows10パラレル処理による高速データ処理
    • スキャン速度を格段に向上させるダイレクトドライブステージの採用
    • 従来比約2倍以上の測定速度により3D測定の実用化を促進
  2. 段差測定再現性4Å以下。高い剛性を実現するシングルアーチ型設計。電気ノイズを極限まで抑制したスマートエレクトロニクス構造。長平滑ガラスステージ採用による高い直進性を実現
  3. 究極の使い易さを追求
    • 容易なスタイラス交換を実現するセルフアライメント構造
    • スタイラスへのダメージを軽減させるメカニカルヒューズ構造
    • 同一ヘッドで測定Zレンジ 1nm~1mmを実現(0.03mg触圧)
    • データステッチング処理により200mm長スキャンに対応(DektakXT-Lは300mmに対応)

icon-building会社名ブルカージャパン株式会社 ナノ表面計測事業部
icon-hand-o-right会社紹介はこちら
icon-phoneお問合せ電話 03-3523-6361
FAX 03-3523-6364
icon-homeホームページhttp://www.bruker-nano.jp/
icon-inboxメールInfo-Nano.BNS.JP@bruker.com

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