ブルカージャパン ナノ表面計測事業部のスタイラスプロファイラーシステム Dektak XT(ディクタクXT)は,触針式表面形状計測機です。薄膜段差計測・評価に最適な業界スタンダードモデルです。
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スタイラスプロファイラーシステム
薄膜段差計測・評価に最適な業界スタンダードモデル
用途
ナノオーダーからミクロンオーダーに至る膜段差の計測・評価
特長
- 業界最高クラスの測定能力
- Windows10パラレル処理による高速データ処理
- スキャン速度を格段に向上させるダイレクトドライブステージの採用
- 従来比約2倍以上の測定速度により3D測定の実用化を促進
- 段差測定再現性4Å以下。高い剛性を実現するシングルアーチ型設計。電気ノイズを極限まで抑制したスマートエレクトロニクス構造。長平滑ガラスステージ採用による高い直進性を実現
- 究極の使い易さを追求
- 容易なスタイラス交換を実現するセルフアライメント構造
- スタイラスへのダメージを軽減させるメカニカルヒューズ構造
- 同一ヘッドで測定Zレンジ 1nm~1mmを実現(0.03mg触圧)
- データステッチング処理により200mm長スキャンに対応(DektakXT-Lは300mmに対応)
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