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NPFLEX | 大型試料対応非破壊3次元白色光干渉型顕微鏡 | ブルカージャパンナノ表面計測事業部

大型試料対応非破壊3次元白色光干渉型顕微鏡

304×304×249mmにわたる試料搭載スペースによりエンジンシリンダーなどの大型試料の非破壊3D形状測定に最適な3次元白色干渉粗さ計

用途

様々な部品の各種3D計測：表面微細形状（粗さ），形状，段差計測，側壁評価など

特長

様々な大型試料へのフレキシブルなアプローチを実現
- 304×304×249mmにわたる試料搭載スペースを実現（スペーサー対応により更なる大型試料にも対応）
- ±45度まで振れる傾斜調整ヘッド搭載により，局所的表面形状測定が可能
- 防振性能を極限まで高めた高性能空気バネ式防振台と光学計の一体設計
側壁評価が可能：ボアスコープレンズを使用することで最大150mmの深さまでの測定が可能
高精度
- リアル3D情報を数秒でアウトプット
- 測定結果を約30万画素のデータで構成（100万画素CCDオプション対応）
- Sパラメータ，Vパラメータ，Pパラメータによる3D解析機能を標準装備
- 対物レンズ倍率に依存せず，Z方向 1Å～10mmレンジの測定に対応
- ステッチング（データの自動繋ぎ合わせ）機能により広範囲測定の標準対応（縦回転，横回転，XY方向）

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