ESF-5000 | 表面力測定装置 | エリオニクス

ESF-5000 | 表面力測定装置 | エリオニクス

ESF-5000は,エリオニクスの表面力測定装置です。

表面力測定装置

精密測定技術,精密位置決め技術により,表面力を容易に,定量的に測定することを可能にした表面力測定装置

用途

  • トライボロジー分野における摩擦力低減に最適な表面形状の評価
  • 金型の離型性の検証 など

特長

  1. これまで困難であったμNレンジの表面力を定量的に評価することが可能
  2. 原子間力顕微鏡(AFM)や接触角計では困難だった試料表面の評価が可能
  3. 測定子が鉛直方向のみに動作可能な構造を採用
  4. 表面力検出の際に必要な力の発生方法として電磁力式を採用
  5. 測定室を真空にすることが可能。さらにガス導入も可能

仕様

  • 荷重系
    • 測定可能範囲:1~10,000μN(=0.1~1,000mgf)
    • 荷重制御:電磁力制御
    • 荷重分解能:4nN
  • 変位系
    • 計測範囲:±50μm
    • 変位分解能:0.3pm
    • 計測方式:光変位計
  • 測定子
    • 種類:ガラス球φ1mm ※変更可能
  • ステージ系(Z方向)
    • 駆動方式:ステッピングモータ+ピエゾ素子
    • 最小駆動ステップ:1nm
  • ステージ系(X,Y方向)
    • 駆動方式:ステッピングモータ
    • 最小駆動ステップ:0.1μm
  • 試料系台
    • 試料サイズ:φ30mm×t3.5mm以内
    • 測定範囲:(X)30mm×(Y)30mm以内
  • 排気系
    • 真空度:測定時 10~200Pa
    • 真空ポンプ:ドライポンプ

icon-building会社名株式会社エリオニクス
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icon-phoneお問合せ電話 042-626-0611
FAX 042-626-6136
icon-homeホームページhttp://www.elionix.co.jp/
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