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表面力測定装置

精密測定技術，精密位置決め技術により，表面力を容易に，定量的に測定することを可能にした表面力測定装置

用途

• トライボロジー分野における摩擦力低減に最適な表面形状の評価
• 金型の離型性の検証　など

特長

1. これまで困難であったμNレンジの表面力を定量的に評価することが可能
2. 原子間力顕微鏡（AFM）や接触角計では困難だった試料表面の評価が可能
3. 測定子が鉛直方向のみに動作可能な構造を採用
4. 表面力検出の際に必要な力の発生方法として電磁力式を採用
5. 測定室を真空にすることが可能。さらにガス導入も可能

仕様

• 荷重系
  • 測定可能範囲：1～10,000μN（=0.1～1,000mgf）
  • 荷重制御：電磁力制御
  • 荷重分解能：4nN
• 変位系
  • 計測範囲：±50μm
  • 変位分解能：0.3pm
  • 計測方式：光変位計
• 測定子
  • 種類：ガラス球φ1mm　※変更可能
• ステージ系（Z方向）
  • 駆動方式：ステッピングモータ＋ピエゾ素子
  • 最小駆動ステップ：1nm
• ステージ系（X，Y方向）
  • 駆動方式：ステッピングモータ
  • 最小駆動ステップ：0.1μm
• 試料系台
  • 試料サイズ：φ30ｍｍ×ｔ3.5ｍｍ以内
  • 測定範囲：（X）30ｍｍ×（Y）30ｍｍ以内
• 排気系
  • 真空度：測定時 10～200Pa
  • 真空ポンプ：ドライポンプ

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