ENT-2100 | 押し込み硬さ試験機 | エリオニクス

ENT-2100 | 押し込み硬さ試験機 | エリオニクス

ENT-2100は,エリオニクスの超微小押し込み硬さ試験機です。

押し込み硬さ試験機

数ナノの押し込み深さで,優れた再現性と安定性を発揮する,超軽荷重型の超微小押し込み硬さ試験機

特長

  1. 独自開発した定点荷重方式の採用により,サンプルの圧子を垂直に押し込むことができる
  2. 最小0.1μNという超軽荷重領域での試験が可能
  3. HD表面膜,半導体基盤,レジストなどの高分子材料の評価が可能
  4. 光学変位計を採用,0.06nmの分解能を保証
  5. 電子描画装置で培った技術により,最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載
  6. ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で,複数の測定ポイントをフルオートで測定できる

仕様

  • 荷重範囲:5μN~100mN(1μN可能)
  • 荷重制御:電磁力式制御
  • 測定範囲:0~50μm
  • 測定分解能:0.06nm
  • 測定方式:光変位計
  • 最大試料サイズ:Φ50×t3.5mm
  • 測定位置決め精度:±0.3μm
  • 除振方式:アクティブ(0.6Hz~)

icon-building会社名株式会社エリオニクス
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icon-phoneお問合せ電話 042-626-0611
FAX 042-626-6136
icon-homeホームページhttp://www.elionix.co.jp/
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