ハイメガソニック | 超精密超音波洗浄機 | カイジョー

ハイメガソニック | 超精密超音波洗浄機 | カイジョー

超精密超音波洗浄機ハイメガソニックは,カイジョーの高周波超音波洗浄機です。

超精密超音波洗浄機

半導体・HDD・LCD洗浄に最適な超精密高周波超音波洗浄機

用途

  • 半導体ウエハや液晶,HDD,水晶振動子などの超精密洗浄に要求される,超微粒子の除去
  • 純水用

特長

  1. 950kHzと750kHzの高周波数を採用,105Gの強力な加速度でサブミクロンのパーテクルを除去
  2. デジタル表示による常時出力の管理が可能。出力の上下限異常判定機能つき
  3. CPU内蔵により,ホストコンピュータとのフル相互通信が可能。(出力や各種動作状態,出力設定や異常状態など)
  4. POWER MOS FETを採用し,高効率発振
  5. 洗浄ムラと洗浄ダメージがほとんど出ないメガ帯域洗浄
  6. 発振器は世界各地に20000台の出荷実績
  7. SUS振動板はもちろん,Ta振動板や石英洗浄槽,投込に対応。ほかにラインシャワー型やスポット型,メガチューブ型もラインナップ。バッジから枚葉洗浄まで広く対応。純水からAPMなどの洗浄に使用可
  8. 振動子は用途に応じた形状を短納期で製作

仕様

  • 出力:900W,600W,45W
  • 周波数:750kHz,950kHz
  • 発振モード:PLL周波数自動追尾
  • 電源:AC200V 50/60Hz,45WtypeはAC100V
  • 発振器外形:600W 320(W)×520(D)×144(W)
  • 振動子:投込型,振動板,洗浄槽,石英板(槽),スポット型シャワー,ライン形シャワーに対応

 
icon-building会社名株式会社カイジョー
icon-hand-o-right会社紹介はこちら
icon-phoneお問合せ電話 042-555-6456
FAX 042-555-0291
icon-homeホームページhttp://www.kaijo.co.jp/
icon-inboxメールice-info@kaijo.co.jp

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