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超精密超音波洗浄機

半導体・HDD・LCD洗浄に最適な超精密高周波超音波洗浄機

用途

• 半導体ウエハや液晶，HDD，水晶振動子などの超精密洗浄に要求される，超微粒子の除去
• 純水用

特長

1. 950kHzと750kHzの高周波数を採用，105Gの強力な加速度でサブミクロンのパーテクルを除去
2. デジタル表示による常時出力の管理が可能。出力の上下限異常判定機能つき
3. CPU内蔵により，ホストコンピュータとのフル相互通信が可能。（出力や各種動作状態，出力設定や異常状態など）
4. POWER MOS FETを採用し，高効率発振
5. 洗浄ムラと洗浄ダメージがほとんど出ないメガ帯域洗浄
6. 発振器は世界各地に20000台の出荷実績
7. SUS振動板はもちろん，Ta振動板や石英洗浄槽，投込に対応。ほかにラインシャワー型やスポット型，メガチューブ型もラインナップ。バッジから枚葉洗浄まで広く対応。純水からAPMなどの洗浄に使用可
8. 振動子は用途に応じた形状を短納期で製作

仕様

• 出力：900W，600W，45W
• 周波数：750kHz，950kHz
• 発振モード：PLL周波数自動追尾
• 電源：AC200V　50/60Hz，45WtypeはAC100V
• 発振器外形：600W　320（W）×520（D）×144（W）
• 振動子：投込型，振動板，洗浄槽，石英板（槽），スポット型シャワー，ライン形シャワーに対応

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