蒸着法とは | トライボロジー用語解説 | ジュンツウネット21

蒸着法(じょうちゃくほう)

英文名:vapor deposition

トライボロジー用語解説蒸着法とは ,真空蒸着ともよばれ,加熱などにより真空中で材料を蒸発させ,基板に膜を形成する方法。粒子は蒸発温度程度の熱エネルギしか持たないので,到着エネルギが小さく基板との付着力が小さい。

最終更新日:2018年12月21日