押し込み硬さ試験機
数ナノの押し込み深さで，優れた再現性と安定性を発揮する，超軽荷重型の超微小押し込み硬さ試験機
特長
- 独自開発した定点荷重方式の採用により，サンプルの圧子を垂直に押し込むことができる
- 最小0.1μNという超軽荷重領域での試験が可能
- HD表面膜，半導体基盤，レジストなどの高分子材料の評価が可能
- 光学変位計を採用，0.06nmの分解能を保証
- 電子描画装置で培った技術により，最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載
- ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で，複数の測定ポイントをフルオートで測定できる
仕様
- 荷重範囲：5μN～100mN（1μN可能）
- 荷重制御：電磁力式制御
- 測定範囲：0～50μm
- 測定分解能：0.06nm
- 測定方式：光変位計
- 最大試料サイズ：Φ50×t3.5mm
- 測定位置決め精度：±0.3μm
- 除振方式：アクティブ（0.6Hz～）
