押し込み硬さ試験機
数ナノの押し込み深さで,優れた再現性と安定性を発揮する,超軽荷重型の超微小押し込み硬さ試験機
特長
- 独自開発した定点荷重方式の採用により,サンプルの圧子を垂直に押し込むことができる
 - 最小0.1μNという超軽荷重領域での試験が可能
 - HD表面膜,半導体基盤,レジストなどの高分子材料の評価が可能
 - 光学変位計を採用,0.06nmの分解能を保証
 - 電子描画装置で培った技術により,最小0.1μmステップで駆動する高精度位置決めステージを搭載
 - ステージ系はステッピングモーター駆動の超高精度ステージを標準装備で,複数の測定ポイントをフルオートで測定できる
 
仕様
- 荷重範囲:5μN~100mN(1μN可能)
 - 荷重制御:電磁力式制御
 - 測定範囲:0~50μm
 - 測定分解能:0.06nm
 - 測定方式:光変位計
 - 最大試料サイズ:Φ50×t3.5mm
 - 測定位置決め精度:±0.3μm
 - 除振方式:アクティブ(0.6Hz~)
 
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